上交所官網顯示，深圳市恒運昌真空技術股份有限公司（以下簡稱“恒運昌”）科創板IPO于6月13日獲得受理。
據了解，恒運昌主要從事等離子體射頻電源系統、等離子體激發裝置、等離子體直流電源、各種配件的研發、生產、銷售及技術服務，并引進真空獲得和流體控制等相關的核心零部件，圍繞等離子體工藝提供核心零部件整體解決方案。
本次沖擊上市，恒運昌擬募集資金約15.5億元，扣除發行費用后的凈額擬全部用于沈陽半導體射頻電源系統產業化建設項目、半導體與真空裝備核心零部件智能化生產運營基地項目、研發與前沿技術創新中心項目、營銷及技術支持中心項目、補充流動資金。
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